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  • 三维光学轮廓仪-光学轮廓测量仪

    三维光学轮廓仪-光学轮廓测量仪

    三维光学轮廓仪-光学轮廓测量仪采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度。

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